廢氣等離子光氧一體機，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。低溫等離子體激發本工藝有40支至240支充有氣體的無極管組成的低溫等離子體激發區，低溫等離子體區是工藝的核心技術，諸多機構室稱在常壓下實現低溫等離子體。從大量的試驗分析，常壓低溫等離子體要在工業中應用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無極燈作為低溫等離子體的激發體，較大限度地在無極管區實現低溫等離子體區，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有的能量平衡性，在粒子撞擊中失能極少，所以低溫等離子體作為原子激發是理想的一種能。
　　廢氣等離子光氧一體機是根據不同廢氣配有不同藥劑，采用濕法處理的方法來凈化多種有毒、廢氣的一種裝置。它是吸取了泡沫塔、噴淋塔、填料塔等凈化技術的精華而設計的，兼有除塵效果。
　　本裝置已成功地應用在：陶瓷廠噴霧干燥塔的尾氣凈化、玻璃窯后的尾氣凈化、各種蒸發量的燃煤、燃油鍋爐的尾氣凈化、線路板廠噴油車間的廢氣凈化、煉油廠污水循環水池的廢氣凈化及石油生產廢氣燃燒產生的尾氣凈化。該裝置已完成系列化產品的機械設計和針對不同廢氣種類、濃度的化學部分的配方，對含粉塵濃度較大的尾氣配有預處理裝置。該裝置系統阻力，較之同類型產品要節省20%以上的動力消耗，對配有引風機向地下煙道排放的廢氣，本裝置有臥式安裝的形式，則無須另配動力裝置。